Die Molekularstrahl-Massenspektrometrie (MBMS) stellt eine vielseitige Diagnostik zur Untersuchung von Plasmen dar. Durch die Verwendung eines dreifach differentiell gepumpten Systems ist es möglich auch in Atmosphärendruck-Plasmen stabile Gasphasenprodukte, aber auch sehr reaktive Spezies zu messen und deren Dichten zu bestimmen. Das Prozessgas wird dafür kollisionsfrei aus dem Atmosphärendruck in ein Hochvakuum überführt, wo es mittels eines Quadrupol-Massenspektrometers analysiert werden kann. Die Messung der Spezies kann direkt im Grundzustand durchgeführt werden und es können beliebige Spezies über einen weiten Massenbereich unabhängig von geeigneten optischen Übergängen gemessen werden. Durch den Einsatz einer Multichannel-Scaler-Card ist eine Messung außerdem mit sehr hoher zeitlicher Auflösung möglich.