Publications

Numerical Simulation of a Microwave Driven Low Pressure Plasma for PET Bottle Treatment

2012 - Daniel Szeremley, Simon Steves, Peter Awakowicz, Ralf Peter Brinkmann, Mark J. Kushner, Thomas Mussenbrock

39th IEEE In­ter­na­tio­nal Con­fe­rence on Plas­ma Sci­ence 2012, Edinburgh, Scottland, Juli 08-12

Prozesstaugliche Plasmadiagnostik auf Basis der Multipol-Resonanz-Sonde

2012 - Jens Oberrath, Christian Schulz, Robert Storch, Tim Styrnoll, Martin Lapke, Thomas Mussenbrock, Peter Awakowicz, Ralf Peter Brinkmann, Thomas Musch, Ilona Rolfes

16. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2012, Nürnberg, 22.-23. Mai (Proceedings: ISBN 978-3-9813484-0-8)

Prozessüberwachung und Kontrolle mit der Multipol-Resonanz-Sonde

2012 - Ralf Peter Brinkmann, Martin Lapke, Jens Oberrath, Christian Schulz, Robert Storch, Tim Styrnoll, Peter Awakowicz, Thomas Mussenbrock, Thomas Musch, Ilona Rolfes, Christian Zietz

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2012, Stutt­gart, Ger­ma­ny, March 12-16

Numerische Simulation von kapazitiven Mehrfrequenzentladungen für Sputteranwendungen

2012 - Daniel Szeremley, Stefan Bienholz, Peter Awakowicz, Ralf Peter Brinkmann, Thomas Mussenbrock

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2012, Stuttgart, Ger­ma­ny, 12-16 March
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