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Modellbsierte Regelung einer kapazitiv gekoppelten HF-Entladung

2006 - Egmont Semmler, Dennis Ziegler, Thomas Mussenbrock, Peter Awakowicz, Ralf Peter Brinkmann

DPG Früh­jahrs­ta­gung, Augs­burg, Ger­ma­ny, 27-30 March

Self-Excited Electron resonance Spectroskopy in Dual Frequency Capacitively Coupled Plasmas

2006 - Egmont Semmler, Peter Awakowicz, Dennis Ziegler, Thomas Mussenbrock, Ralf Peter Brinkmann

DPG Früh­jahrs­ta­gung, Augs­burg, Ger­ma­ny, 27-30 march
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