Control orientated modeling and analysis of a reactive (O2) sputter (Ti) process

2015 - Christian Wölfel, Moritz Oberberg, Jan Lunze, Peter Awakowicz

WELTPP-18, Kerkrade, 2015

Ion Energy Distribution Functions in a Microwave Driven Plasma Discharge

2015 - Daniel Szeremley, Felix Mitschker, Simon Steves, Peter Awakowicz, Ralf Peter Brinkmann, Mark J. Kushner, Thomas Mussenbrock

68th An­nual Ga­se­ous Elec­tro­nics Con­fe­rence/9th In­ter­na­tio­nal Con­fe­rence on Re­ac­tive Plas­mas/33rd Sym­po­si­um on Plas­ma Pro­ces­sing, Ho­no­lu­lu, USA, Oc­to­ber 12-15 2015 (oral contribution)

Nutzung von Plasmadiagnostik zur Regelung eines reaktiven Sputterprozesses

2015 - Christian Wölfel, Moritz Oberberg, Dennis Krüger, Jan Lunze, Ralf Peter Brinkmann, Peter Awakowicz

23. Dresdner Vakuumtechnische Kolloquium (NDVaK) Beschichtung und Modifizierung von Kunststoffoberflächen, Dresden, 2015

Kinetische Simulation der Dynamik gesputterten Aluminiums in kapazitiv gekoppelten Mehrfrequenzplasmen

2015 - Jan Trieschmann, Stefan Ries, Stefan Bienholz, Nikita Bibinov, Peter Awakowicz, Ralf Peter Brinkmann, Thomas Mussenbrock

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2015, Bochum, Ger­ma­ny, 2-5 March