Publications
Control orientated modeling and analysis of a reactive (O2) sputter (Ti) process
2015 - Christian Wölfel, Moritz Oberberg, Jan Lunze, Peter Awakowicz
WELTPP-18, Kerkrade, 2015Ion Energy Distribution Functions in a Microwave Driven Plasma Discharge
2015 - Daniel Szeremley, Felix Mitschker, Simon Steves, Peter Awakowicz, Ralf Peter Brinkmann, Mark J. Kushner
68th Annual Gaseous Electronics Conference/9th International Conference on Reactive Plasmas/33rd Symposium on Plasma Processing, Honolulu, USA, October 12-15 2015 (oral contribution)Nutzung von Plasmadiagnostik zur Regelung eines reaktiven Sputterprozesses
2015 - Christian Wölfel, Moritz Oberberg, Dennis Krüger, Jan Lunze, Ralf Peter Brinkmann, Peter Awakowicz
23. Dresdner Vakuumtechnische Kolloquium (NDVaK) Beschichtung und Modifizierung von Kunststoffoberflächen, Dresden, 2015Nonlinear Electron Resonance Heating in Capacitive Discharges
2015 - Sebastian Wilczek, Jan Trieschmann, Denis Eremin, Ralf Peter Brinkmann, Julian Schulze, Derzsi, Aranka, Korolov, Ihor, Hartmann, Peter, Donkó, Zoltán
NCPST 5th Radio Frequency Discharges Workshop 2015, Dublin, Ireland, June 22-23 2015Kinetische Simulation der Dynamik gesputterten Aluminiums in kapazitiv gekoppelten Mehrfrequenzplasmen
2015 - Jan Trieschmann, Stefan Ries, Stefan Bienholz, Nikita Bibinov, Peter Awakowicz, Ralf Peter Brinkmann
DPG Frühjahrstagung 2015, Bochum, Germany, 2-5 March