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Das Institut setzt sich aus zwei Lehrstühlen unter der Leitung von Prof. Dr.-Ing. Peter Awakowicz und Prof. Dr.-Ing. Thomas Mussenbrock sowie einer Junior-Professur unter der Leitung von Jun.- Prof. Dr. Andrew Gibson zusammen.

Das Team des Lehrstuhls für Allgemeine Elektrotechnik und Plasmatechnik von Prof. Awakowicz beschäftigt sich neben der Lehre im Bereich der Grundlagen der Elektrotechnik und Plasmatechnik insbesondere mit der experimentellen Umsetzung und der experimentellen Diagnostik von verschiedenen technischen Plasmaprozessen von Niederdruckanwendungen, über Atmosphärendruckplasmen bis zu Plasmen in Flüssigkeiten und Hochdruckanwendungen.
Die Forschungsthemen des Lehrstuhls für Angewandte Elektrodynamik und Plasmatechnik von Prof. Mussenbrock liegen im Bereich der Niedertemperaturplasmen sowie der nanoelektronischen Bauelemente. Das Team entwickelt analytische und numerische Methoden für die Modellierung und Simulation und wendet diese im Zusammenspiel mit Experimenten an.
Die Kernkompetenz der Junior-Professur für Biomedizinisch Angewandte Plasmatechnik von Professor Gibson liegt in der Charakterisierung der einzigartigen chemischen und physikalischen Eigenschaften diverser Plasmaquellen, mit einem Schwerpunkt auf der Plasmachemie, unter Verwendung einer Kombination aus numerischen Simulationen und experimentellen Messungen.
Das Institut ist Mitglied im Research Department Plasmas with Complex Interactions sowie im Materials Research Department der Ruhr-Universität Bochum.