CSC
2D Particle-in-Cell
Realistische 2D Particle-in-Cell Simulationen der Ladungsträgerdynamik in kapazitiv gekoppelten Radio-Frequenz Niederdruckplasmen
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Technische Hochfrequenzplasmen
Priv.-Doz. Dr. Julian Schulze
DFG
BMBF
FlexTMDSense
Im Rahmen dieses Projektes werden ultradünne pH- und Gassensorsysteme basierend auf zweidimensionalen (2D) Halbleiterfilmen aus der Materialkasse der Übergangsmetalldichalkogenide erforscht.
DFG
Multifrequenz-CCP
Projekt C1 des SFB TR 87 Multifrequenz Sputtering zur Abscheidung keramischer Schichten Unter „Sputtern“ versteht
DFG
Oberflächen-DBD
Von ns- bis ms-Impuls – Einfluss der Spannungsform auf dielektrischen Oberflächenentladungen
DFG
Reaktive Sputterprozesse
Plasmabasierte Prozessführung von reaktiven Sputterprozessen DFG Projekt #417888799 In diesem Projekt wird eine kapazitiv gekoppelte
DFG
RF Plasma Jet
Prozesskontrolle in Atmosphärendruck RF Mikroplasmajets durch Voltage Waveform Tailoring und maßgeschneiderte Oberflächen
DFG
Strukturierte DBD
Strukturierte Dielektrisch Behinderte Plasmen für umwelt- und biomedizinische Anwendungen Vom Grundlagenverständnis zur Prozesskontrolle Das von
