Expertisen & Geräte

Multipolresonanzsonde

Die Multipolresonanzsonde (Multipole Resonance Probe – MRP) ist eine Plasmadiagnostik, die mit echtzeitfähiger Elektronik live messen und auswerten kann. Sie liefert dabei in Niederdruckplasmen die Elektronendichte, die Elektronenstoßfrequenz sowie die Elektronentemperatur – also die wichtigsten Plasmaparameter.

FTIR

Fourier-Transform-Infrarotspektroskopie || Der Einsatz der Infrarotspektroskopie (IR-Spektroskopie) bietet die Möglichkeit, die Wechselwirkung zwischen Infrarotstrahlung und Materie bzw. Molekülen zu untersuchen.

REM/EDX

Mit unserem Rasterelektronenmikroskop (REM) in Kombination mit einem Detektor zur energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDX) können wir schnell und unkompliziert plasmabehandelte Oberflächenstrukturen mit einer Auflösung im Nanometerbereich betrachten und ihre Elementzusammensetzung analysieren.

en_US