The Multipole Resonance Probe (MRP) is a plasma diagnostic that measures and evaluates live with real-time capable electronics. In low-pressure plasmas, it provides the electron density, the electron collision frequency and the electron temperature - in other words, the most important plasma parameters.
Die Langmuir-Sonde (Langmuir probe – LP) ist eine elektrostatische Messmethode, bei der ein Leiter in das Plasma eingebracht wird.
Die laserinduzierte Fluoreszenz (LIF) ist ein aktives, optisch-spektroskopisches Messverfahren, das üblicherweise zur direkten Bestimmung der Grundzustandsdichte von Atomen, Molekülen oder Ionen verwendet wird.
Die laserinduzierte Fluoreszenz (LIF) ist ein aktives, optisch-spektroskopisches Messverfahren, das üblicherweise zur direkten Bestimmung der Grundzustandsdichte von Atomen, Molekülen oder Ionen verwendet wird.
Die Molekularstrahl-Massenspektrometrie (MBMS) stellt eine vielseitige Diagnostik zur Untersuchung von Plasmen dar.
A wide variety of spectrometers are available at AEPT to detect the radiation emitted by the plasmas in use.
Retarding field energy analyzer for ion energy and ion flux measurements
Fourier transform infrared spectroscopy || The use of infrared spectroscopy (IR spectroscopy) offers the possibility to investigate the interaction between infrared radiation and matter or molecules.
Using our scanning electron microscope (SEM) in combination with a detector for energy dispersive X-ray spectroscopy (EDX), we can quickly and easily view plasma-treated surface structures with nanometer resolution and analyze their elemental composition.
