Month: August 2021

Multipolresonanzsonde

Die Multipolresonanzsonde (Multipole Resonance Probe – MRP) ist eine Plasmadiagnostik, die mit echtzeitfähiger Elektronik live messen und auswerten kann. Sie liefert dabei in Niederdruckplasmen die Elektronendichte, die Elektronenstoßfrequenz sowie die Elektronentemperatur – also die wichtigsten Plasmaparameter.

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