Month: March 2021

Gasbarriereschichten

Transferprojekt T4 im SFB-TR 87 PECVD-Gasbarrierebeschichtung von PET-Mehrwegflaschen Ob als PET-Flasche im Supermarkt oder als flexible Substrate für OLEDs – Kunststoffe sind aus unserem Alltag nicht mehr wegzudenken. Sie haben jedoch einen entscheidenden Nachteil, der nur den Wenigsten bewusst ist: Durch Permeation diffundieren Gasmoleküle durch den festen Kunststoff. Ohne weitere Maßnahmen würden daher Sauerstoff und …

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PECVD-Folienbeschichtung

Transferprojekt T06 im SFB-TR 87 Wartungsarme kontinuierliche Air2Air PECVD-Folienbeschichtung durch In-Plasma Konzept (In-Plasma-Air2Air)   In der Verpackung von Lebensmitteln sorgen Kunststoffe für einen Schutz vor Keimen oder mechanischen Einflüssen und liefern somit einen wichtigen Beitrag zur Vorbeugung von Lebensmittelverschwendung. Die dafür verwendeten Kunststoffe, wie z.B. Polyethylenterephthalat (PET), verfügen jedoch für bestimmte Anwendungen über keine ausreichende …

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Multifrequenz-CCP

Projekt C1 des SFB TR 87 Multifrequenz Sputtering zur Abscheidung keramischer Schichten Unter „Sputtern“ versteht man das Zerstäuben und anschließende Ablagern eines Materials mit Hilfe von Plasma. Dies geschieht üblicherweise in Vakuumanlagen bei etwa 1/100000 Atmosphärendruck. Das zu zerstäubende Material heißt Target (z.B. Aluminiumscheibe), das Objekt auf das die neue Schicht aufwächst Substrat (z.B. Siliziumwafer). …

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SIOx-Gradientenschichten

Projekt B4 des SFB TR 87 Plasmadiagnostik zur Synthese von multilagen SiOx-Gradientenschichten mit gepulsten Mikrowellenplasmen und HF-Biasing kombiniert mit plasmaunterstützter Atomlagenabscheidung (PE-ALD) als Barriereschicht auf Kunststoffen Im Rahmen dieses Projekts werden grundlegende Mechanismen während der Abscheidung verschiedener Schichten auf Kunststoffen untersucht. Diese werden mittels plasmaunterstützter chemischer Gasphasenabscheidung (PE-CVD) abgeschieden unter Verwendung eines gepulsten Mikrowellenplasma mit …

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Reactive sputtering processes

Plasmabasierte Prozessführung von reaktiven Sputterprozessen DFG Projekt #417888799 In diesem Projekt wird eine kapazitiv gekoppelte Plasmaentladung untersucht, an die von außen ein Magnetfeld angelegt wird. Solche sogenannten Niedertemperatur-Plasmen werden industriell unter anderem dazu eingesetzt, Dünnfilme auf Substratoberflächen abzuscheiden. Die so erzeugten Schichten, Strukturen und Oberflächeneigenschaften haben vielfältige Einsatzgebiete im Bereich des Korrosions- und Verschleißschutzes, der …

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SEM & EDX

Using our scanning electron microscope (SEM) in combination with a detector for energy dispersive X-ray spectroscopy (EDX), we can quickly and easily view plasma-treated surface structures with nanometer resolution and analyze their elemental composition.

VOC-Konversion

SFB 1316 – Projekt A7 Plasmaunterstützte Katalyse für die Konversion flüchtiger organischer Verbindungen (VOC) Vor dem Hintergrund des wachsenden Bewusstseins für Umweltschutz und Nachhaltigkeit besteht immer größere Nachfrage an energieeffizienten Prozessen zur Reinigung verschmutzter Gasströme, wie etwa in der Industrie oder im Wohnraum. Diese Gasströme können mit verschiedensten umwelt- und gesundheitsschädlichen Schadstoffen versetzt sein, wie …

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