Die Multipolresonanzsonde (Multipole Resonance Probe – MRP) ist eine Plasmadiagnostik, die mit echtzeitfähiger Elektronik live messen und auswerten kann. Sie liefert dabei in Niederdruckplasmen die Elektronendichte, die Elektronenstoßfrequenz sowie die Elektronentemperatur – also die wichtigsten Plasmaparameter.
Die Langmuir-Sonde (Langmuir probe – LP) ist eine elektrostatische Messmethode, bei der ein Leiter in das Plasma eingebracht wird.
Die laserinduzierte Fluoreszenz (LIF) ist ein aktives, optisch-spektroskopisches Messverfahren, das üblicherweise zur direkten Bestimmung der Grundzustandsdichte von Atomen, Molekülen oder Ionen verwendet wird.
Die laserinduzierte Fluoreszenz (LIF) ist ein aktives, optisch-spektroskopisches Messverfahren, das üblicherweise zur direkten Bestimmung der Grundzustandsdichte von Atomen, Molekülen oder Ionen verwendet wird.
Die Molekularstrahl-Massenspektrometrie (MBMS) stellt eine vielseitige Diagnostik zur Untersuchung von Plasmen dar.
Am AEPT stehen verschiedenste Spektrometer zur Verfügung, um die von den genutzten Plasmen emittierte Strahlung zu erfassen.
Der Gegenfeldanalysator (GFA) ist eine Plasmadiagnostik mit der die Ionenenergieverteilung und der Ionenfluss auf eine Oberfläche in einem Niederdruckplasma gemessen werden kann.
Fourier-Transform-Infrarotspektroskopie || Der Einsatz der Infrarotspektroskopie (IR-Spektroskopie) bietet die Möglichkeit, die Wechselwirkung zwischen Infrarotstrahlung und Materie bzw. Molekülen zu untersuchen.
Mit unserem Rasterelektronenmikroskop (REM) in Kombination mit einem Detektor zur energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDX) können wir schnell und unkompliziert plasmabehandelte Oberflächenstrukturen mit einer Auflösung im Nanometerbereich betrachten und ihre Elementzusammensetzung analysieren.
