IEDF Sensor
Wafer-Level Sensorstruktur zur Bestimmung von Ionenenergie- und Ionenwinkelverteilungsfunktionen in Niederdruckplasmen
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Projekt
Multiskalentransport
Mehrskalen-Transportmodellierung: Von Prozessplasmen zu resistiv schaltenden Bauelementen
House of Plasma
Mithilfe der MRP können plasmagestützte Oberflächenbehandlungen direkte innere Größen echtzeitfähig und stabil erfasst werden.
2D Particle-in-Cell
Realistische 2D Particle-in-Cell Simulationen der Ladungsträgerdynamik in kapazitiv gekoppelten Radio-Frequenz Niederdruckplasmen
CO2 Plasma Jet
Regelung der Elektronendynamik in Radiofrequenz-getriebenen Mikroplasmajets für effiziente CO2-Konversion
RF Plasma Jet
Prozesskontrolle in Atmosphärendruck RF Mikroplasmajets durch Voltage Waveform Tailoring und maßgeschneiderte Oberflächen
