IEDF Sensor
Wafer-Level Sensorstruktur zur Bestimmung von Ionenenergie- und Ionenwinkelverteilungsfunktionen in Niederdruckplasmen
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Mehrskalen-Transportmodellierung: Von Prozessplasmen zu resistiv schaltenden Bauelementen
Regelung der Elektronendynamik in Radiofrequenz-getriebenen Mikroplasmajets für effiziente CO2-Konversion
Prozesskontrolle in Atmosphärendruck RF Mikroplasmajets durch Voltage Waveform Tailoring und maßgeschneiderte Oberflächen
CMOS-kompatible RRAM-basierten Strukturen für die Implementierung von Physikalisch Nichtklonbarer Funktionen (PUF) und echten Zufallszahlengenerationen (TRNG)