Forschung Archive

IEDF Sensor

Wafer-Level Sensorstruktur zur Bestimmung von Ionenenergie- und Ionenwinkelverteilungsfunktionen in Niederdruckplasmen

Modellierung und Simulation memristiver Bauelemente und Systeme

Mehrskalen-Transportmodellierung: Von Prozessplasmen zu resistiv schaltenden Bauelementen

Mithilfe der MRP können plasmagestützte Oberflächenbehandlungen direkte innere Größen echtzeitfähig und stabil erfasst werden.

Realistische 2D Particle-in-Cell Simulationen der Ladungsträgerdynamik in kapazitiv gekoppelten Radio-Frequenz Niederdruckplasmen

Regelung der Elektronendynamik in Radiofrequenz-getriebenen Mikroplasmajets für effiziente CO₂-Konversion

Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für 2D-Elektronik

Von fundamentalem Verständnis zu wissensbasierter Prozesskontrolle

Schwerteilchenprozesse in Hochleistungsplasmen

Prozesskontrolle in Atmosphärendruck RF Mikroplasmajets durch Voltage Waveform Tailoring und maßgeschneiderte Oberflächen

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