Multipolresonanzsonde
Die Multipolresonanzsonde (Multipole Resonance Probe – MRP) ist eine Plasmadiagnostik, die mit echtzeitfähiger Elektronik live messen und auswerten kann. Sie liefert dabei in Niederdruckplasmen die Elektronendichte, die Elektronenstoßfrequenz sowie die Elektronentemperatur – also die wichtigsten Plasmaparameter.
