Die laserinduzierte Fluoreszenz (LIF) ist ein aktives, optisch-spektroskopisches Messverfahren, das üblicherweise zur direkten Bestimmung der Grundzustandsdichte von Atomen, Molekülen oder Ionen verwendet wird.
Die Molekularstrahl-Massenspektrometrie (MBMS) stellt eine vielseitige Diagnostik zur Untersuchung von Plasmen dar.
Am AEPT stehen verschiedenste Spektrometer zur Verfügung, um die von den genutzten Plasmen emittierte Strahlung zu erfassen.
Der Gegenfeldanalysator (GFA) ist eine Plasmadiagnostik mit der die Ionenenergieverteilung und der Ionenfluss auf eine Oberfläche in einem Niederdruckplasma gemessen werden kann.
Fourier-Transform-Infrarotspektroskopie || Der Einsatz der Infrarotspektroskopie (IR-Spektroskopie) bietet die Möglichkeit, die Wechselwirkung zwischen Infrarotstrahlung und Materie bzw. Molekülen zu untersuchen.
Wafer-Level Sensorstruktur zur Bestimmung von Ionenenergie- und Ionenwinkelverteilungsfunktionen in Niederdruckplasmen
Mehrskalen-Transportmodellierung: Von Prozessplasmen zu resistiv schaltenden Bauelementen
Mithilfe der MRP können plasmagestützte Oberflächenbehandlungen direkte innere Größen echtzeitfähig und stabil erfasst werden.
Realistische 2D Particle-in-Cell Simulationen der Ladungsträgerdynamik in kapazitiv gekoppelten Radio-Frequenz Niederdruckplasmen
