Gegenfeldanalysator
Der Gegenfeldanalysator (GFA) ist eine Plasmadiagnostik mit der die Ionenenergieverteilung und der Ionenfluss auf eine Oberfläche in einem Niederdruckplasma gemessen werden kann.
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Monat: April 2021
FTIR
Fourier-Transform-Infrarotspektroskopie || Der Einsatz der Infrarotspektroskopie (IR-Spektroskopie) bietet die Möglichkeit, die Wechselwirkung zwischen Infrarotstrahlung und Materie bzw. Molekülen zu untersuchen.
IEDF Sensor
Wafer-Level Sensorstruktur zur Bestimmung von Ionenenergie- und Ionenwinkelverteilungsfunktionen in Niederdruckplasmen
Multiskalentransport
Mehrskalen-Transportmodellierung: Von Prozessplasmen zu resistiv schaltenden Bauelementen
House of Plasma
Mithilfe der MRP können plasmagestützte Oberflächenbehandlungen direkte innere Größen echtzeitfähig und stabil erfasst werden.
2D Particle-in-Cell
Realistische 2D Particle-in-Cell Simulationen der Ladungsträgerdynamik in kapazitiv gekoppelten Radio-Frequenz Niederdruckplasmen
CO2 Plasma Jet
Regelung der Elektronendynamik in Radiofrequenz-getriebenen Mikroplasmajets für effiziente CO2-Konversion
