Gegenfeldanalysator
Der Gegenfeldanalysator (GFA) ist eine Plasmadiagnostik mit der die Ionenenergieverteilung und der Ionenfluss auf eine Oberfläche in einem Niederdruckplasma gemessen werden kann.
Der Gegenfeldanalysator (GFA) ist eine Plasmadiagnostik mit der die Ionenenergieverteilung und der Ionenfluss auf eine Oberfläche in einem Niederdruckplasma gemessen werden kann.
Fourier-Transform-Infrarotspektroskopie || Der Einsatz der Infrarotspektroskopie (IR-Spektroskopie) bietet die Möglichkeit, die Wechselwirkung zwischen Infrarotstrahlung und Materie bzw. Molekülen zu untersuchen.
Wafer-Level Sensorstruktur zur Bestimmung von Ionenenergie- und Ionenwinkelverteilungsfunktionen in Niederdruckplasmen
Mehrskalen-Transportmodellierung: Von Prozessplasmen zu resistiv schaltenden Bauelementen
Mithilfe der MRP können plasmagestützte Oberflächenbehandlungen direkte innere Größen echtzeitfähig und stabil erfasst werden.
Realistische 2D Particle-in-Cell Simulationen der Ladungsträgerdynamik in kapazitiv gekoppelten Radio-Frequenz Niederdruckplasmen
Regelung der Elektronendynamik in Radiofrequenz-getriebenen Mikroplasmajets für effiziente CO2-Konversion